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Bericht / Forschungsbericht / Abhandlung zugänglich unter
URL: https://epub.sub.uni-hamburg.de/epub/volltexte/2020/100284/

Potential of the FLASH FEL technology for the construction of a kW-scale light source for the next generation lithography

Schneidmiller, E. A. ; Vogel, V. F. ; Weise, H. ; Yurkov, M. V.

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DDC-Sachgruppe: Physik
Dokumentart: Bericht / Forschungsbericht / Abhandlung
Schriftenreihe: DESY // Deutsches Elektronen-Synchrotron, DESY
Bandnummer: 2011,138
Sprache: Englisch
Erstellungsjahr: 2011
Publikationsdatum: 01.04.2020

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Letzte Änderung: 12.10.2015