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Schneidmiller, E. A. ; Vogel, V. F. ; Weise, H. ; Yurkov, M. V. (
2011
)
Potential of the FLASH FEL technology for the construction of a kW-scale light source for the next generation lithography
Bericht / Forschungsbericht / Abhandlung
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epub2 - Letzte Änderung: 19.04.2024
