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Bericht / Forschungsbericht / Abhandlung zugänglich unter
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Planar integriertes Mikromassenspektrometer : Simulation, Ansteuerung und Charakterisierung

Hauschild, Jan-Peter

pdf-Format:
Dokument 1.pdf (3.274 KB)


Zugriffsbeschränkung: nur an einem Rechner in der SUB-Hamburg
SWD-Schlagwörter: Massenspektrometer , Mikrosystemtechnik , Plasma , Mikrowellenplasma , Ionenoptik , MEMS , Messtechnik , Online-Ressource
DDC-Sachgruppe: Physik
Dokumentart: Bericht / Forschungsbericht / Abhandlung
Sprache: Deutsch
Erstellungsjahr: 2009
Publikationsdatum: 18.12.2017


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